COFC-1300

特征

無(wú)振動(dòng)傘架搬運(yùn)系統(tǒng)

中心旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)可提高旋轉(zhuǎn)精度并抑制顆粒產(chǎn)生

轉(zhuǎn)速為20rpm，以改善膜厚控制能力

12點(diǎn)式高精度光學(xué)測(cè)厚監(jiān)控儀

水晶微平衡監(jiān)控儀（最多80個(gè)監(jiān)測(cè)點(diǎn)）

裝載射頻離子源以實(shí)現(xiàn)高品質(zhì)復(fù)雜薄膜

自動(dòng)傘架安裝系統(tǒng)（可選自動(dòng)裝載搬運(yùn)系統(tǒng)，可選額外真空室）

規(guī)格

真空腔體（3腔體式） 上片腔體+蒸鍍腔體+下片腔體
（可選上片/下片式）

真空上片/下片腔體（2腔體） 304不銹鋼，
約1500mm (長(zhǎng)) × 1500mm (深) × 1560mm (高)

蒸鍍腔體（2個(gè)門閥） 304不銹鋼，
約1500mm (長(zhǎng)) × 1500mm (深) × 1560mm (高)

極限真空壓力 ≤1.5 × 10-4 Pa

連續(xù)鍍膜的極限真空時(shí)間 ≤5 - 10分鐘 (7.0 × 10-3 Pa)

基板傘架 直徑1200 mm

旋轉(zhuǎn)速度 5 - 20 rpm

蒸發(fā)源（2個(gè)蒸發(fā)源） 電子槍（帶自動(dòng)進(jìn)料系統(tǒng)）

射頻離子源 直徑17cm

工作條件

電源要求 3相+G, 200V ± 5％、約140kVA、50/60Hz

冷卻水流量 三個(gè)進(jìn)水口≥200升/分鐘

重量 約25000 kg