連續(xù)式光學(xué)薄膜形成裝置

COFC-1300

COFC-1300是由三個(gè)腔體組成的連續(xù)式光學(xué)薄膜鍍膜,可不破壞真空的情況下搬運(yùn)工件,以實(shí)現(xiàn)連續(xù)大量生產(chǎn)光學(xué)濾光片。

特征
無(wú)振動(dòng)傘架搬運(yùn)系統(tǒng)
中心旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)可提高旋轉(zhuǎn)精度并抑制顆粒產(chǎn)生
轉(zhuǎn)速為20rpm,以改善膜厚控制能力
12點(diǎn)式高精度光學(xué)測(cè)厚監(jiān)控儀
水晶微平衡監(jiān)控儀(最多80個(gè)監(jiān)測(cè)點(diǎn))
裝載射頻離子源以實(shí)現(xiàn)高品質(zhì)復(fù)雜薄膜
自動(dòng)傘架安裝系統(tǒng)(可選自動(dòng)裝載搬運(yùn)系統(tǒng),可選額外真空室)
規(guī)格
真空腔體(3腔體式) 上片腔體+蒸鍍腔體+下片腔體
(可選上片/下片式)
真空上片/下片腔體(2腔體) 304不銹鋼,
約1500mm (長(zhǎng)) × 1500mm (深) × 1560mm (高)
蒸鍍腔體(2個(gè)門閥) 304不銹鋼,
約1500mm (長(zhǎng)) × 1500mm (深) × 1560mm (高)
極限真空壓力 ≤1.5 × 10-4 Pa
連續(xù)鍍膜的極限真空時(shí)間 ≤5 - 10分鐘 (7.0 × 10-3 Pa)
基板傘架 直徑1200 mm
旋轉(zhuǎn)速度 5 - 20 rpm
蒸發(fā)源(2個(gè)蒸發(fā)源) 電子槍(帶自動(dòng)進(jìn)料系統(tǒng))
射頻離子源 直徑17cm
工作條件
電源要求 3相+G, 200V ± 5%、約140kVA、50/60Hz
冷卻水流量 三個(gè)進(jìn)水口≥200升/分鐘
重量 約25000 kg