關(guān)于SPOC系列

SPOC-1100T

SPOC-1100T系列是用于制造DWDM用窄帶濾光片的真空鍍膜系統(tǒng)。能進(jìn)行高精度的光學(xué)多層膜鍍膜,生產(chǎn)光通信用的濾光片。 SPOC-1100R是用于截止濾光片,分束器,抗反射膜等光學(xué)鍍膜機(jī)。

特征
利用高精度反射光學(xué)膜厚計(jì)實(shí)時(shí)測(cè)定和控制成膜時(shí)的膜厚
利用高速基板旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)提高膜的均勻性
搭載雙電子槍并加大型坩堝,能對(duì)應(yīng)超多層薄膜
配上OPTORUN`產(chǎn)離子源實(shí)現(xiàn)高蒸發(fā)速率,提高生產(chǎn)率