關于Gener系列
AS/AR Vacuum Coater
此真空鍍膜機是鍍制防污膜（AS膜）及防反射膜+防污膜（AS+AS膜）的大型光學鍍膜機， 應用于智慧手機等所配的觸摸屏。
- 特征
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磁密封驅動的基板旋轉方式可得到穩(wěn)定和均勻的膜厚分布
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配備RF離子源以提高膜的耐摩擦性。（*已通過4萬次以上摩擦試驗*）
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* 根據摩擦試驗的規(guī)格，摩擦的次數(shù)有所不同。
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防污膜（AS 膜）批量生產。
- 規(guī)格
- 真空室 Ф2350mm×H 1400mm
- 基板架 Ф2200 mm，5片式
- 基板架轉速 20rpm
- 晶振式膜厚計 6點式水晶傳感器
- 蒸發(fā) 電子槍1臺，熱阻蒸1臺
- 離子源 RF離子源
- 性能
- 達到壓力 7.0E-5Pa 以下
- 排氣時間 15分以下（大氣壓～2.0×10-3 Pa）
- 工作條件
- 設備尺寸 約6300mm (W) ×9000mm (D) ×4000mm (H)
- 電源 3相,200v,50/60Hz, 約80KVA
- 水流量 220升/分以上
- 空氣壓力 0.5 - 0.7 MPa
- 重量 約12000kg
