光學(xué)膜厚監(jiān)控儀

HOM1-1

高精度光學(xué)膜厚監(jiān)控儀

用于DWDM成膜用真空鍍膜系統(tǒng)的膜厚控制。

特征
高NA值光學(xué)系統(tǒng)和低噪音電路設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)低噪音,相對(duì)值達(dá)到 +0.01%
應(yīng)用高分解能分光光學(xué)系,波長分解能達(dá)到0.08nm(1550nm)
使用鹵素?zé)艄庠?,使用波長范圍1100nm-1700nm
運(yùn)用先進(jìn)的成膜計(jì)算控制技術(shù),光透過率的極值監(jiān)控能力可達(dá)+0.01%
規(guī)格
型號(hào) HOM1-1
波長帶域 1100nm - 1700nm
波長分解能 0.08nm
光亮設(shè)定分解能 0.001%
光源 鹵素?zé)?/span>
電源 AC100V±10%, 50/60Hz
消費(fèi)電力 600VA