ALDER

ALDER-800TBS

ALDER-800TBS (A800TBS) 是一種熱模式 ALD 系統(tǒng)，具有大容量負(fù)載鎖定機(jī)制，可實(shí)現(xiàn)高通量、高均勻性和出色的重現(xiàn)性。

特征
專(zhuān)為 LED 等高通量 ALD 應(yīng)用而設(shè)計(jì)
以良好的再現(xiàn)性實(shí)現(xiàn)高度均勻的沉積工藝
6 秒以下的快速 ALD 循環(huán)
維護(hù)周期長(zhǎng)