關于OTFC系列

OTFC-1100

OTFC系列是用于生產(chǎn)紅外截止濾光片、分色濾光片等成膜的真空鍍膜裝置。

特征
真空室尺寸:Φ600-1800mm
60點/80點式光學膜厚監(jiān)控
使用均勻分布的高離子電流密度的離子源
搭載雙電子槍,多點和環(huán)型坩堝可鍍100層以上
利用自動蒸鍍控制系統(tǒng)實現(xiàn)全自動蒸鍍過程
工件架可選擇鐘罩式或行星式
排氣系統(tǒng)可選擇擴散泵+低溫冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵
規(guī)格
設備名稱 OTFC-1100CBI/DBI
真空室 SUS304, φ1100mm×1520mm (H)
工件架 φ950mm
工件架轉速 10rpm to 50rpm(可變)
光學膜厚控制 HOM2-R-VIS350A光學膜厚監(jiān)控儀
波長范圍:350nm to 1100nm
反射式/透射式可選
水晶式膜厚計 XTC/3+6點式水晶傳感器
蒸發(fā)源 電子槍2套
離子源 17cmRF離子源
排氣系統(tǒng) 機械泵+2個擴散泵+Polycold(或2個冷凝泵)
性能
達到壓力 7.0×10-5Pa以下
排氣時間 15分(大氣壓~1.3×10-3Pa)
基板溫度 最高:350℃
工作條件
設備尺寸 約5000mm(W)×6000mm(D)×3300mm(H)
電源 3相,200v,50/60Hz, 約100KVA
水流量 120升/分以上
空氣壓力 0.5MPa以上
重量 約7200kg