離子源

OIS-One/OIS-Two/OIS-Two Plus

17cm RF Ion Source

OIS-One是光馳自行開(kāi)發(fā)的離子輔助蒸度高性能射頻(RF)離子源,適應(yīng)于在高速率下的離子束輔助沉積(IAD)及清洗。搭載在光馳的成膜設(shè)備OTFC-1100,OTFC-1300上適于各種光學(xué)濾光片的中規(guī)模量產(chǎn)。 OIS-Two Plus是OIS-Two的延伸機(jī)型。在離子輔助蒸鍍大電流大面積的性能方面加以進(jìn)化的RF離子源,維護(hù)性能的優(yōu)化及中和器的改良,提高冷卻效率來(lái)達(dá)到穩(wěn)定生產(chǎn)的效果。適用于在高速率下離子束輔助沉積(IAD)及清洗。搭載在光馳的OTFC-1300,OTFC-1550成膜設(shè)備上可適合于各種光學(xué)濾光片的大規(guī)模量產(chǎn)。

特征
同使用燈絲型的離子源比較,壽命長(zhǎng),污染少。
高離子電流密度和均勻分布,照射面積能達(dá)到Ф1150mm以上
動(dòng)作安定性高,能長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)轉(zhuǎn)
規(guī)格
型號(hào) OIS-One OIS-Two OIS-Two Plus
尺寸 φ300mm × 150mm (H)
柵網(wǎng)尺寸 Ф 17cm(Molybdenum制3枚)
離子束電壓 100V~1500V
離子束電流 1000mA 1200mA
Acc電壓 100V~1000V
RF功率 600W 750W 1000W
氣體流量 20sccm~30sccm(氬氣)40sccm~60sccm(氧氣)
使用壓力 5 × 10-2 Pa
水冷方式 RF線圈和本體
中和器規(guī)格
尺寸 φ 6cm × 8cm