離子源

OIS-Four

OIS-Four是光馳自行開發(fā)的離子輔助蒸度高性能射頻(RF)離子源,適于在高速率下的離子束輔助沉積(IAD)及清洗。柵網(wǎng)口徑雖然只有10CM,但是設(shè)計(jì)上充分考慮到高電流密度,均一性,搭載在光馳的成膜設(shè)備OTFC-600,OTFC-900進(jìn)行工件架的全面照射,適于各種光學(xué)濾光片的中規(guī)模量產(chǎn),試制,研究開發(fā)。

特征
同使用燈絲型的離子源比較,壽命長,污染少。
高離子電流密度和均勻分布,照射面積能達(dá)到Ф800mm以上
動(dòng)作安定性高,能長時(shí)間運(yùn)轉(zhuǎn)
規(guī)格
尺寸 φ 224mm ×143mm (H)
柵網(wǎng)尺寸 Ф 10cm(Molybdenum制3枚)
離子束電壓 100V~1500V
離子束電流 500mA(max)
Acc電壓 100V~1000V
RF功率 600W(max)
氣體流量 25sccm~35sccm(氬氣)10sccm~20sccm(氬氣)
使用壓力 5.0 ×10-2 Pa
水冷方式 RF線圈和本體
中和器規(guī)格
尺寸 φ 6cm × 8cm
發(fā)射電流 1500mA(max)
RF功率 150W(max)
氣體流量 5sccm~8sccm(氬氣)